| Titel | Regression Methods for Prediction of PECVD Silicon Nitride Layer Thickness |
| Publikations-Art | Conference Paper |
| Erscheinungsjahr | 2011 |
| Autoren | Purwins, H., A. Nagi, B. Barak, U. Hockele, A. Kyek, B. Lenz, G. Pfeifer, and K. Weinzierl |
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